Abstract: 为了有效解决双臂集束型设备调度过程中的驻留约束和重入问题,采用虚拟化方法将双臂机械手转化为一个单臂机械手和一个虚拟缓冲模块,定义了晶圆投放策略,建立了调度问题的非线性规划模型.在此基础上,结合所建数学模型提出了一种基于搜索的启发式算法,并对其进行仿真分析.结果表明,所提出的算法是可行且有效的.

Key words: 驻留约束, 重入, 双臂机械手, 设备调度