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ISSN 1006-2467 CN 31-1466/U
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Journal of Shanghai Jiao Tong University
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基于多示例学习径向基函数神经网络的刻蚀设备异常侦测
杨俊刚, 张洁
Journal of Shanghai Jiao Tong University . 2016, (
12
): 1816 -1822 . DOI: 10.16183/j.cnki.jsjtu.2016.12.002
