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ISSN 1006-2467 CN 31-1466/U
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Journal of Shanghai Jiao Tong University
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微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计
刘军, 李海华, 王庆康
Journal of Shanghai Jiao Tong University . 2015, (
11
): 1675 -1679 . DOI: 10.16183/j.cnki.jsjtu.2015.11.015
