上海交通大学学报(自然版) ›› 2014, Vol. 48 ›› Issue (11): 1606-1612.
李刚,张利,文东辉
收稿日期:2014-04-21
LI Gang,ZHANG Li,WEN Donghui
Received:2014-04-21
摘要:
摘要: 针对动压浮离抛光盘流场特性优化问题,提出了楔形、L型、抛物线型3种典型的结构化流道.建立了流场约束数学模型,利用Matlab对比分析了不同结构参数下结构化流道环境产生液体动压的能力,得到了浮力与膜厚关系曲线、压力分布曲线以及浮力与各结构参数的关系曲线.同时,运用Fluent对3种结构化流道环境的流场压强与速度分布进行了仿真.理论计算与仿真结果表明:抛物线形结构化流道产生浮力的能力最强,楔形结构化流道次之,L形结构化流道远落后于前两种;工件安装区域形成的流场速度稳定,有利于非接触式抛光加工.
中图分类号:
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