一维热波法测量薄膜纵向热扩散系数

上海交通大学学报（自然版） ›› 2012, Vol. 46 ›› Issue (07): 1159-1162.

一维热波法测量薄膜纵向热扩散系数

沈超，曾志刚，沈斌杰，胡志宇

(上海大学纳微能源研究所，上海 200444)

收稿日期:2011-09-05 出版日期:2012-07-30 发布日期:2012-07-30
基金资助:
科技部国际合作项目（2009DFB60160），上海市科委资助项目（10520710400、10PJ1403800、0852NM01700 、08160706000)

Measurement of Cross-plane Thermal Diffusivity of Thin-Films by Thermal Wave Method

SHEN Chao, ZENG Zhi-Gang, SHEN Bin-Jie, HU Zhi-Yu

(Institute of NanoMicro Energy，Shanghai University， Shanghai 200444，China)

Received:2011-09-05 Online:2012-07-30 Published:2012-07-30

摘要/Abstract

摘要： 针对薄膜样品的纵向热扩散系数测量的困难性，研究了利用稳态纵向热流法(SCHF)的测量结构和Angstrm法的一维热波理论相结合的方法，分析了热波在样品中传播的过程，并导出了样品的纵向热扩散系数.文中测量了厚度为30 μm~1 mm的聚四氟乙烯、聚氯乙烯和聚丙烯薄膜，结果表明，该方法是真实可信的.

关键词: 热扩散系数, 热波, 纵向, 薄膜

Abstract: Considering the difficulty of measuring cross-plane thermal diffusivity of thin films, a new method of measuring the cross-plane thermal diffusivity of thin films was approached by combining the apparatus of steady-state comparative-longitudinal heat flow (SCHF) method and the one-dimensional thermal wave in Angstr-m method. The propagation of thermal wave was analyzed and the cross-plane thermal diffusivity of thin films was deduced. By this method, three types of thin films samples (PTFE, polyvinylchloride and polypropylene) with various thicknesses ranging from 30 μm-1 mm were tested and this method is reliable.

Key words: thermal diffusivity, thermal wave, cross-plane, thin-film

中图分类号:

O 434

沈超, 曾志刚, 沈斌杰, 胡志宇. 一维热波法测量薄膜纵向热扩散系数 [J]. 上海交通大学学报（自然版）, 2012, 46(07): 1159-1162.

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