姚世清,江志斌,郭乘涛,胡鸿韬
收稿日期:
2008-01-28
修回日期:
1900-01-01
出版日期:
2008-10-28
发布日期:
2008-10-28
通讯作者:
江志斌
YAO Shi-qing, JIANG Zhi-bin, GUO Cheng-tao, HU Hong-tao
Received:
2008-01-28
Revised:
1900-01-01
Online:
2008-10-28
Published:
2008-10-28
Contact:
JIANG Zhi-bin
摘要: 针对半导体晶圆制造系统中设备从缓冲区选择Lot加工问题,提出Lot加工序列优化的蚁群算法,对其进行计算时间复杂度分析,并给出了该算法的改进形式.该改进算法是根据晶圆制造系统重入特点,基于瓶颈设备构建蚁群算法求解模型,通过迭代仿真最终获取Lot加工优先序列表.仿真结果表明,采用该算法在短期调度区间内,与一般的基于规则的动态调度算法相比,效果得到了显著的改善.
中图分类号:
姚世清,江志斌,郭乘涛,胡鸿韬. 晶圆制造系统中Lot加工序列优化的蚁群算法[J]. 上海交通大学学报(自然版).
YAO Shi-qing, JIANG Zhi-bin, GUO Cheng-tao, HU Hong-tao. Ant Algorithm for Lot Sequencing in Wafer Fabrication System[J]. Journal of Shanghai Jiaotong University.
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