非对称柔性支撑龙门双驱平台的解耦与同步控制
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位广宇, 谷朝臣, 杨舒盛, 关新平
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Decoupling and Synchronization Control of Asymmetric Flexure-Linked Dual-Drive Gantry Stage
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WEI Guangyu, GU Chaochen, YANG Shusheng, GUAN Xinping
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表1 龙门双驱试验台参数
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Tab.1 Parameters of dual-drive gantry test bed
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参数 | 含义 | 取值 | mC1/kg | C1侧底座(含柔性支撑)总质量 | 9.9 | mC2/kg | C2侧底座(含柔性支撑)总质量 | 9.85 | mH/kg | 工作头(移动负载)质量 | 7.6 | mB/kg | 横梁质量 | 26.8 | JH/(kg·m2) | 工作头绕自身重心的转动惯量 | 0.038 | JB/(kg·m2) | 横梁绕自身重心的转动惯量 | 3.2 | dBH/m | 工作头(移动负载)重心偏移量 | 0.1 | Lr/m | 龙门试验台跨度 | 1.2 | Kr/(N·m·rad-1) | 回转柔性支撑的转动刚度 | 28 500 | Ks/(N·m-1) | 偏扭柔性支撑的刚度 | 125 000 | cg1,cg2/(N·m-1·s) | 双驱轴导轨阻尼系数 | 20.3 | cy/(N·m-1·s) | 横梁轴导轨阻尼系数 | 32.5 | cb/(N·m·rad-1·s) | 回转柔性支撑旋转阻尼系数 | 300 | cbg/(N·m-1·s) | 偏扭柔性支撑阻尼系数 | 3 750 | FC1,FC2 | 两侧电动机推力 | — | FY | 横梁轴电动机推力 | — |
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