差压式电容传感器膜片的变形分析与优化设计
赵昭, 雷华明
Deformation Analysis and Optimal Design of Membrane for Differential Pressure Capacitance Sensor
ZHAO Zhao, LEI Huaming
表5
传感器实际结构参数
Tab.5
Actual structure parameters of sensor
传感器参数
数值
传感器参数
数值
a
/mm
15
H
1
/mm
0.32
h
/mm
0.02
H
2
/mm
0.34
b
/mm
10.5
N
0
/(N·m
-1
)
840