差压式电容传感器膜片的变形分析与优化设计

赵昭, 雷华明

Deformation Analysis and Optimal Design of Membrane for Differential Pressure Capacitance Sensor

ZHAO Zhao, LEI Huaming

表4 不同膜厚和不同挠度线性偏差下的灵敏度和输出非线性误差

Tab.4 Sensitivity and output nonlinearity at different membrane thicknesses and different deflection linear deviations

h/mm δ= 5% δ= 1% 低压端 灵敏度/(pF·Pa-1) 高压端 灵敏度/(pF·Pa-1) 非线性 误差/% 低压端 灵敏度/(pF·Pa-1) 高压端 灵敏度/(pF·Pa-1) 非线性 误差/% 0.02 0.039 4 -0.016 8 0.86 0.018 3 -0.011 3 0.15 0.03 0.030 8 -0.015 0 0.94 0.015 1 -0.010 0 0.17 0.04 0.025 8 -0.013 7 0.95 0.013 2 -0.009 1 0.18 0.05 0.022 4 -0.012 6 0.94 0.011 7 -0.008 4 0.18