差压式电容传感器膜片的变形分析与优化设计
赵昭, 雷华明

Deformation Analysis and Optimal Design of Membrane for Differential Pressure Capacitance Sensor
ZHAO Zhao, LEI Huaming
表1 部分不同 S 0 Q范围的求解参数与求解时间
Tab.1 Solution parameters and solution time in different S 0 and Q ranges
S0 Q m M c Emin 计算时间/s
[0, 40] [0, 400] 2 110 -0.1 (0, 10-20) 0.07
[0, 150] [0, 1 000] 2 300 -0.04 (0, 10-20) 0.11
[0, 700] [0, 4 200] 4 700 -0.01 (0, 10-20) 0.35
[0, 1 500] [0, 19 000] 10 5000 -0.001 (0, 10-20) 8.00