基于位移放大机构的压电快速反射镜设计
谢永, 刘重飞, 贾建军, 戴箭胜
Design of Fast Steering Mirror Based on Displacement Amplification Mechanism
XIE Yong, LIU Chongfei, JIA Jianjun, DAI Jiansheng
表5
快反镜指标对比
Tab.5
Index comparison of FSMs
序号
参数
本文FSM
PI-S335
x
轴
y
轴
1
θ
/mrad
52.93
55.41
35
2
σ
/%
0.418
0.283
0.05
3
δ
/μrad
10.40
6.09
1
4
f
/Hz
105.45
125.97
700
5
D
/mm
70×50×6(椭圆形)
?25.4×5(圆形)