基于位移放大机构的压电快速反射镜设计
谢永, 刘重飞, 贾建军, 戴箭胜
Design of Fast Steering Mirror Based on Displacement Amplification Mechanism
XIE Yong, LIU Chongfei, JIA Jianjun, DAI Jiansheng
表4
快反镜偏转角度测试结果
Tab.4
Test results of deflection angle for FSM
序号
参数
取值
1
θ
x
/mrad
52.93
2
e
x
/mrad
0.221
3
σ
x
/%
0.418
4
θ
y
/mrad
55.41
5
e
y
/mrad
0.157
6
σ
y
/%
0.283