基于位移放大机构的压电快速反射镜设计

谢永, 刘重飞, 贾建军, 戴箭胜

Design of Fast Steering Mirror Based on Displacement Amplification Mechanism

XIE Yong, LIU Chongfei, JIA Jianjun, DAI Jiansheng

表1 压电陶瓷基本参数

Tab.1 Parameters of piezoelectric ceramics

基本参数 取值 型号 PI-887.91 外形尺寸/(mm×mm×mm) 7×7×36 刚度/(N·μm-1) 50 标称位移/μm@100V 32 最大出力/N 1850 静电容量/μF±20% 6.4