上海交通大学学报
差压式电容传感器膜片的变形分析与优化设计
赵昭, 雷华明
Deformation Analysis and Optimal Design of Membrane for Differential Pressure Capacitance Sensor
ZHAO Zhao, LEI Huaming
上海交通大学学报 . 2023, (3): 264 -272 .  DOI: 10.16183/j.cnki.jsjtu.2021.281