协同共振型薄膜体声波谐振器研究
张亚非1，刘一剑1，李忠丽1，张耀中1，苏言杰1，刘刚2
Fabrication Technologies Research on
Solidly Mounted Bulk Acoustic Resonator
ZHANG Yafei,LIU Yijian,LI Zhongli,ZHANG Yaozhong,SU Yanjie,LIU Gang
上海交通大学学报（自然版）
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2018, (10): 1242
-1248
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DOI: 10.16183/j.cnki.jsjtu.2018.10.012
