边缘修形织构化N、Si共掺杂类金刚石碳膜在
空气中的摩擦磨损性能
吴行阳，葛宙，阮敬杰，杨义，牛浩之，陈腾，张建华
Edge-Profiling Effect on the Tribological Properties of
Protrusion Textured N-Si-DLC Films in Air
WU Xingyang,GE Zhou,RUAN Jingjie,YANG Yi,NIU Haozhi,CHEN Teng,ZHANG Jianhua
上海交通大学学报（自然版）
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2018, (5): 554
-560
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DOI: 10.16183/j.cnki.jsjtu.2018.05.008
