基于规则的批处理设备调度方法在半导体晶圆制造系统中应用
李程, 江志斌, 李友, 李娜, 耿娜, 姚世清, 贾文友
Rule-Based Scheduling of Batch Processing Machine Applied to Semiconductor Wafer Fabrication System
LI Cheng, JIANG Zhi-Bin, LI You, LI Na, GENG Na, YAO Shi-Qing, JIA Wen-You
上海交通大学学报（自然版）
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2013, (02): 230
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