上海交通大学学报
横向电场激励的剪切波AlN薄膜体声波谐振器
陈达, 李德华, 宋宏伟, 王翠玲, 张玉萍
AlN Thin Film Resonator Operated in  Thickness Shear Mode Excited by Lateral Electric Field
Chen-Da, LI De-Hua, SONG Hong-Wei, WANG Cui-Ling, ZHANG Yu-Ping
上海交通大学学报（自然版） . 2011, (03): 327 -0330 .