上海交通大学学报
基于Markov链的集束型晶圆制造设备预防性维护建模
周炳海，何平，潘尔顺，奚立峰
Preventive Maintenance Modeling of Cluster Tools for Fabrication Wafers Based on Markov Chain
ZHOU Bing-hai, HE Ping, PAN Er-shun, XI Li-feng
上海交通大学学报（自然版） . 2008, (10): 1622 -1626 .