%A 陈达, 李德华, 宋宏伟, 王翠玲, 张玉萍 %T 横向电场激励的剪切波AlN薄膜体声波谐振器 %0 Journal Article %D 2011 %J 上海交通大学学报 %R %P 327-0330 %V 45 %N 03 %U {https://xuebao.sjtu.edu.cn/CN/abstract/article_39583.shtml} %8 2011-03-30 %X 为了检测液体中的微量物质,研究了横向电场激励的剪切波固体装配型AlN薄膜体声波谐振器.器件以c轴择优取向的AlN薄膜作为压电层,电场由平行于压电薄膜表面的平行电极激发,三周期的1/4波长SiO2/W层交替排列构成了布拉格反射层.通过有限元分析计算了电场分布,设计了平行电极参数.结果表明:AlN薄膜具有良好的c轴择优取向,器件实现了稳定的2 GHz频率的单纯剪切波谐振,器件的品质因数Qs和Qp分别为434和393,等效机电耦合系数K2eff为0.97%,有效的横向电场激励和布拉格反射层的选频作用对纵波的抑制明显.这种谐振器非常有利于作为在液体环境中工作的生化传感器.